20世纪80年代后期，随着科学技术的发展，在生物、医疗科学、遗传工程、精细加工、集成电路制造、光钎对接、CCD对接、航空航天等领域，迫切需要人们开发一些工作对象是微小物体或其位姿微小改变的微细作业技术，这些微细作业直接由人来操作是非常困难的，所以必然要依靠微动机器人来完成，这些需求为微型机器人的出现提供了必要调教；随着晶体压电效应、微/纳米技术及相关技术的发展，遗迹超磁致伸缩材料的应用，新型微驱动研发的成功也促进了微机器人学的发展，这些也成为了微型机器人发展的重要基础。
微型机器人结构和元器件都微小、精密，可以在人类及其他机器人所无法进入的场合下进行定位以及各类微细操作，微型机器人的研究是微机电系统技术发展的一个重要分支，其应用前景十分广泛，已收到国内外学者的高度重视。如：微型管道机器人应用在狭小管道或者缝隙中；纳米级别的微型医用机器人可以在人体内甚至血管等里面进行诊疗；具有隐蔽性的微型机器人可以很好的用来进行侦查工作，大大降低了风险等。
